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              Calculation using SRIM-2006 
              SRIM version ---> SRIM-2008.04
              Calc. date   ---> October 25, 2012 
 ==================================================================

 Disk File Name = SRIM Outputs\Nitrogen in Silicon

 Ion = Nitrogen [7] , Mass = 14.003 amu

 Target Density =  2.3212E+00 g/cm3 = 4.9770E+22 atoms/cm3
 ======= Target  Composition ========
    Atom   Atom   Atomic    Mass     
    Name   Numb   Percent   Percent  
    ----   ----   -------   -------  
     Si     14    100.00    100.00   
 ====================================
 Bragg Correction = -7.20%
 Stopping Units =  MeV / (mg/cm2) 
 See bottom of Table for other Stopping units 

   Ion        dE/dx      dE/dx     Projected  Longitudinal   Lateral
  Energy      Elec.      Nuclear     Range     Straggling   Straggling
-----------  ---------- ---------- ----------  ----------  ----------
  10.00 keV   4.128E-01  5.886E-01     300 A       174 A       127 A   
  11.00 keV   4.330E-01  5.812E-01     327 A       186 A       137 A   
  12.00 keV   4.522E-01  5.735E-01     355 A       199 A       146 A   
  13.00 keV   4.707E-01  5.658E-01     382 A       211 A       155 A   
  14.00 keV   4.885E-01  5.582E-01     409 A       223 A       165 A   
  15.00 keV   5.056E-01  5.506E-01     437 A       235 A       174 A   
  16.00 keV   5.222E-01  5.431E-01     464 A       247 A       183 A   
  17.00 keV   5.383E-01  5.358E-01     491 A       258 A       191 A   
  18.00 keV   5.539E-01  5.286E-01     519 A       270 A       200 A   
  20.00 keV   5.838E-01  5.147E-01     573 A       291 A       217 A   
  22.50 keV   6.193E-01  4.982E-01     642 A       318 A       239 A   
  25.00 keV   6.528E-01  4.828E-01     710 A       343 A       259 A   
  27.50 keV   6.846E-01  4.684E-01     778 A       367 A       279 A   
  30.00 keV   7.377E-01  4.549E-01     845 A       390 A       299 A   
  32.50 keV   7.908E-01  4.423E-01     910 A       412 A       319 A   
  35.00 keV   8.380E-01  4.304E-01     974 A       432 A       337 A   
  37.50 keV   8.794E-01  4.193E-01    1037 A       451 A       355 A   
  40.00 keV   9.158E-01  4.088E-01    1100 A       470 A       373 A   
  45.00 keV   9.762E-01  3.895E-01    1223 A       504 A       406 A   
  50.00 keV   1.024E+00  3.723E-01    1345 A       537 A       438 A   
  55.00 keV   1.065E+00  3.567E-01    1466 A       568 A       468 A   
  60.00 keV   1.099E+00  3.426E-01    1587 A       598 A       497 A   
  65.00 keV   1.129E+00  3.298E-01    1707 A       627 A       525 A   
  70.00 keV   1.156E+00  3.180E-01    1828 A       654 A       553 A   
  80.00 keV   1.202E+00  2.973E-01    2068 A       706 A       605 A   
  90.00 keV   1.242E+00  2.794E-01    2308 A       755 A       656 A   
 100.00 keV   1.278E+00  2.640E-01    2548 A       801 A       704 A   
 110.00 keV   1.312E+00  2.504E-01    2787 A       845 A       751 A   
 120.00 keV   1.346E+00  2.383E-01    3024 A       886 A       796 A   
 130.00 keV   1.380E+00  2.275E-01    3260 A       925 A       840 A   
 140.00 keV   1.415E+00  2.178E-01    3494 A       963 A       882 A   
 150.00 keV   1.451E+00  2.090E-01    3726 A       998 A       924 A   
 160.00 keV   1.488E+00  2.010E-01    3955 A      1031 A       963 A   
 170.00 keV   1.526E+00  1.937E-01    4181 A      1063 A      1002 A   
 180.00 keV   1.564E+00  1.869E-01    4404 A      1093 A      1039 A   
 200.00 keV   1.645E+00  1.750E-01    4840 A      1150 A      1110 A   
 225.00 keV   1.750E+00  1.623E-01    5366 A      1213 A      1193 A   
 250.00 keV   1.858E+00  1.515E-01    5870 A      1268 A      1268 A   
 275.00 keV   1.969E+00  1.423E-01    6354 A      1317 A      1337 A   
 300.00 keV   2.081E+00  1.342E-01    6816 A      1361 A      1401 A   
 325.00 keV   2.193E+00  1.271E-01    7260 A      1400 A      1460 A   
 350.00 keV   2.305E+00  1.208E-01    7686 A      1435 A      1514 A   
 375.00 keV   2.416E+00  1.152E-01    8095 A      1466 A      1564 A   
 400.00 keV   2.525E+00  1.102E-01    8489 A      1494 A      1610 A   
 450.00 keV   2.738E+00  1.014E-01    9237 A      1545 A      1694 A   
 500.00 keV   2.941E+00  9.408E-02    9937 A      1588 A      1767 A   
 550.00 keV   3.133E+00  8.786E-02    1.06 um     1625 A      1831 A   
 600.00 keV   3.314E+00  8.248E-02    1.12 um     1657 A      1888 A   
 650.00 keV   3.483E+00  7.780E-02    1.18 um     1685 A      1940 A   
 700.00 keV   3.641E+00  7.367E-02    1.24 um     1709 A      1987 A   
 800.00 keV   3.926E+00  6.672E-02    1.35 um     1755 A      2069 A   
 900.00 keV   4.171E+00  6.108E-02    1.45 um     1793 A      2140 A   
   1.00 MeV   4.381E+00  5.640E-02    1.55 um     1825 A      2201 A   
   1.10 MeV   4.562E+00  5.245E-02    1.64 um     1854 A      2256 A   
   1.20 MeV   4.717E+00  4.906E-02    1.73 um     1879 A      2306 A   
   1.30 MeV   4.850E+00  4.612E-02    1.82 um     1902 A      2351 A   
   1.40 MeV   4.964E+00  4.355E-02    1.90 um     1923 A      2392 A   
   1.50 MeV   5.063E+00  4.127E-02    1.99 um     1942 A      2431 A   
   1.60 MeV   5.148E+00  3.924E-02    2.07 um     1960 A      2467 A   
   1.70 MeV   5.221E+00  3.742E-02    2.15 um     1977 A      2501 A   
   1.80 MeV   5.285E+00  3.577E-02    2.23 um     1993 A      2534 A   
   2.00 MeV   5.388E+00  3.291E-02    2.39 um     2029 A      2594 A   
   2.25 MeV   5.483E+00  2.997E-02    2.59 um     2073 A      2662 A   
   2.50 MeV   5.552E+00  2.755E-02    2.78 um     2115 A      2725 A   
   2.75 MeV   5.603E+00  2.552E-02    2.97 um     2153 A      2783 A   
   3.00 MeV   5.641E+00  2.379E-02    3.16 um     2190 A      2838 A   
   3.25 MeV   5.670E+00  2.229E-02    3.35 um     2225 A      2890 A   
   3.50 MeV   5.693E+00  2.099E-02    3.54 um     2258 A      2939 A   
   3.75 MeV   5.711E+00  1.984E-02    3.73 um     2290 A      2986 A   
   4.00 MeV   5.726E+00  1.882E-02    3.91 um     2321 A      3032 A   
   4.50 MeV   5.748E+00  1.709E-02    4.28 um     2410 A      3118 A   
   5.00 MeV   5.764E+00  1.566E-02    4.66 um     2494 A      3200 A   
   5.50 MeV   5.775E+00  1.448E-02    5.03 um     2574 A      3278 A   
   6.00 MeV   5.782E+00  1.347E-02    5.40 um     2651 A      3352 A   
   6.50 MeV   5.784E+00  1.260E-02    5.77 um     2725 A      3424 A   
   7.00 MeV   5.783E+00  1.184E-02    6.14 um     2796 A      3493 A   
   8.00 MeV   5.770E+00  1.059E-02    6.88 um     3026 A      3626 A   
   9.00 MeV   5.744E+00  9.592E-03    7.63 um     3239 A      3754 A   
  10.00 MeV   5.708E+00  8.776E-03    8.38 um     3441 A      3877 A   
  11.00 MeV   5.664E+00  8.096E-03    9.13 um     3634 A      3996 A   
  12.00 MeV   5.614E+00  7.520E-03    9.90 um     3820 A      4113 A   
  13.00 MeV   5.560E+00  7.025E-03   10.66 um     4000 A      4227 A   
  14.00 MeV   5.504E+00  6.595E-03   11.44 um     4175 A      4340 A   
  15.00 MeV   5.446E+00  6.218E-03   12.23 um     4347 A      4452 A   
  16.00 MeV   5.386E+00  5.884E-03   13.02 um     4515 A      4562 A   
  17.00 MeV   5.326E+00  5.586E-03   13.82 um     4681 A      4672 A   
  18.00 MeV   5.266E+00  5.319E-03   14.63 um     4845 A      4782 A   
  20.00 MeV   5.144E+00  4.858E-03   16.29 um     5425 A      4999 A   
  22.50 MeV   4.994E+00  4.390E-03   18.41 um     6250 A      5272 A   
  25.00 MeV   4.847E+00  4.008E-03   20.60 um     7021 A      5545 A   
  27.50 MeV   4.705E+00  3.690E-03   22.85 um     7757 A      5820 A   
  30.00 MeV   4.567E+00  3.422E-03   25.17 um     8468 A      6099 A   
  32.50 MeV   4.406E+00  3.192E-03   27.57 um     9166 A      6382 A   
  35.00 MeV   4.249E+00  2.993E-03   30.05 um     9862 A      6672 A   
  37.50 MeV   4.115E+00  2.818E-03   32.63 um     1.06 um     6969 A   
  40.00 MeV   3.987E+00  2.664E-03   35.28 um     1.13 um     7272 A   
  45.00 MeV   3.751E+00  2.403E-03   40.85 um     1.38 um     7902 A   
  50.00 MeV   3.538E+00  2.192E-03   46.76 um     1.62 um     8562 A   
  55.00 MeV   3.346E+00  2.016E-03   53.01 um     1.86 um     9255 A   
  60.00 MeV   3.172E+00  1.867E-03   59.62 um     2.09 um     9982 A   
  65.00 MeV   3.014E+00  1.740E-03   66.58 um     2.32 um     1.07 um  
  70.00 MeV   2.870E+00  1.630E-03   73.90 um     2.54 um     1.15 um  
  80.00 MeV   2.620E+00  1.449E-03   89.61 um     3.39 um     1.32 um  
  90.00 MeV   2.409E+00  1.306E-03  106.75 um     4.19 um     1.51 um  
 100.00 MeV   2.230E+00  1.189E-03  125.33 um     4.96 um     1.71 um  
 110.00 MeV   2.077E+00  1.093E-03  145.35 um     5.73 um     1.92 um  
 120.00 MeV   1.944E+00  1.012E-03  166.78 um     6.50 um     2.15 um  
 130.00 MeV   1.828E+00  9.421E-04  189.63 um     7.28 um     2.40 um  
 140.00 MeV   1.726E+00  8.819E-04  213.87 um     8.06 um     2.65 um  
 150.00 MeV   1.636E+00  8.293E-04  239.49 um     8.86 um     2.92 um  
 160.00 MeV   1.556E+00  7.829E-04  266.49 um     9.67 um     3.21 um  
 170.00 MeV   1.484E+00  7.417E-04  294.83 um    10.49 um     3.51 um  
 180.00 MeV   1.419E+00  7.048E-04  324.51 um    11.33 um     3.82 um  
 200.00 MeV   1.306E+00  6.414E-04  387.80 um    14.49 um     4.49 um  
 225.00 MeV   1.190E+00  5.772E-04  474.16 um    19.01 um     5.39 um  
 250.00 MeV   1.096E+00  5.251E-04  568.45 um    23.28 um     6.38 um  
 275.00 MeV   1.016E+00  4.820E-04  670.50 um    27.46 um     7.44 um  
 300.00 MeV   9.486E-01  4.458E-04  780.18 um    31.61 um     8.57 um  
 325.00 MeV   8.902E-01  4.148E-04  897.35 um    35.76 um     9.78 um  
 350.00 MeV   8.393E-01  3.880E-04    1.02 mm    39.95 um    11.07 um  
 375.00 MeV   7.945E-01  3.646E-04    1.15 mm    44.17 um    12.42 um  
 400.00 MeV   7.548E-01  3.440E-04    1.29 mm    48.44 um    13.84 um  
 450.00 MeV   6.874E-01  3.093E-04    1.59 mm    64.48 um    16.89 um  
 500.00 MeV   6.322E-01  2.812E-04    1.92 mm    79.51 um    20.20 um  
 550.00 MeV   5.862E-01  2.580E-04    2.27 mm    94.13 um    23.77 um  
 600.00 MeV   5.473E-01  2.384E-04    2.65 mm   108.62 um    27.59 um  
 650.00 MeV   5.138E-01  2.217E-04    3.06 mm   123.09 um    31.65 um  
 700.00 MeV   4.847E-01  2.073E-04    3.49 mm   137.63 um    35.95 um  
 800.00 MeV   4.367E-01  1.836E-04    4.43 mm   191.46 um    45.25 um  
 900.00 MeV   3.985E-01  1.650E-04    5.46 mm   241.28 um    55.42 um  
   1.00 GeV   3.675E-01  1.499E-04    6.58 mm   289.58 um    66.45 um  
   1.10 GeV   3.417E-01  1.374E-04    7.80 mm   337.31 um    78.28 um  
   1.20 GeV   3.200E-01  1.270E-04    9.10 mm   384.94 um    90.89 um  
   1.30 GeV   3.013E-01  1.180E-04   10.49 mm   432.68 um   104.25 um  
   1.40 GeV   2.852E-01  1.103E-04   11.96 mm   480.66 um   118.32 um  
   1.50 GeV   2.711E-01  1.036E-04   13.51 mm   528.95 um   133.09 um  
   1.60 GeV   2.587E-01  9.764E-05   15.13 mm   577.56 um   148.51 um  
   1.70 GeV   2.476E-01  9.237E-05   16.84 mm   626.51 um   164.58 um  
   1.80 GeV   2.378E-01  8.767E-05   18.61 mm   675.79 um   181.26 um  
   2.00 GeV   2.208E-01  7.961E-05   22.37 mm   861.58 um   216.39 um  
   2.25 GeV   2.037E-01  7.146E-05   27.45 mm     1.12 mm   263.41 um  
   2.50 GeV   1.898E-01  6.488E-05   32.93 mm     1.37 mm   313.58 um  
   2.75 GeV   1.784E-01  5.945E-05   38.78 mm     1.60 mm   366.64 um  
   3.00 GeV   1.688E-01  5.488E-05   44.99 mm     1.83 mm   422.36 um  
   3.25 GeV   1.606E-01  5.099E-05   51.53 mm     2.05 mm   480.50 um  
   3.50 GeV   1.536E-01  4.763E-05   58.38 mm     2.27 mm   540.87 um  
   3.75 GeV   1.475E-01  4.471E-05   65.53 mm     2.49 mm   603.29 um  
   4.00 GeV   1.422E-01  4.213E-05   72.97 mm     2.70 mm   667.59 um  
   4.50 GeV   1.333E-01  3.780E-05   88.62 mm     3.50 mm   801.27 um  
   5.00 GeV   1.261E-01  3.430E-05  105.23 mm     4.22 mm   940.78 um  
   5.50 GeV   1.203E-01  3.141E-05  122.71 mm     4.90 mm     1.09 mm  
   6.00 GeV   1.155E-01  2.899E-05  140.98 mm     5.54 mm     1.23 mm  
   6.50 GeV   1.114E-01  2.693E-05  159.97 mm     6.16 mm     1.39 mm  
   7.00 GeV   1.080E-01  2.514E-05  179.61 mm     6.76 mm     1.54 mm  
   8.00 GeV   1.024E-01  2.223E-05  220.57 mm     8.92 mm     1.86 mm  
   9.00 GeV   9.821E-02  1.993E-05  263.53 mm    10.80 mm     2.18 mm  
  10.00 GeV   9.492E-02  1.808E-05  308.15 mm    12.52 mm     2.50 mm  
  11.00 GeV   9.231E-02  1.655E-05  354.17 mm    14.12 mm     2.83 mm  
  12.00 GeV   9.021E-02  1.527E-05  401.37 mm    15.62 mm     3.16 mm  
  13.00 GeV   8.850E-02  1.418E-05  449.58 mm    17.05 mm     3.48 mm  
  14.00 GeV   8.709E-02  1.324E-05  498.64 mm    18.42 mm     3.81 mm  
-----------------------------------------------------------
 Multiply Stopping by        for Stopping Units
 -------------------        ------------------
  2.3211E+01                 eV / Angstrom 
  2.3211E+02                keV / micron   
  2.3211E+02                MeV / mm       
  1.0000E+00                keV / (ug/cm2) 
  1.0000E+00                MeV / (mg/cm2) 
  1.0000E+03                keV / (mg/cm2) 
  4.6637E+01                 eV / (1E15 atoms/cm2)
  5.2015E-01                L.S.S. reduced units
 ==================================================================
 (C) 1984,1989,1992,1998,2008 by J.P. Biersack and J.F. Ziegler
